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平面拋光機拋光速率對機器的影響

來源:新創勝機械  時間:2019-11-05  點擊數:

  拋光速率對平面拋光機的重要性,平面拋光機操作的關鍵是要設法得到最大的拋光速率,以便盡快除去磨光時產生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響最終觀察到的組織,即不會造成假組織。

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  前者要求使用較粗的磨料,以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層,但拋光損傷層也較深;后者要求使用最細的材料,使拋光損傷層較淺,但拋光速率低。

  解決這個矛盾的最好的辦法就是采用自動拋光設備。粗拋目的是去除磨光損傷層,這一階段應具有最大的拋光速率,粗拋形成的表層損傷是次要的考慮,不過也應當盡可能小;其次是精拋(或稱終拋),其目的是去除粗拋產生的表層損傷,使拋光損傷減到最小。

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